二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266 待售
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ID: 9022266
優質的: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F是為半導體行業設計的高級高性能蝕刻器/asher。它是一個完全集成的asher，在同一容器中提供化學和等離子體處理能力。這使得它可以作為一個蝕刻器，一個asher，或兩者適用於廣泛的應用。它是一種具有快速循環時間、精密沈積控制和均勻蝕刻特征的高端蝕刻器/蝕刻器。它利用基於臭氧的等離子體和高能離子轟擊，以極高的精度精確蝕刻目標材料。它適用於復雜的3 D幾何形狀和非常薄的薄膜。經濟特區DV-38F的獨特設計具有模塊化、多角色的概念,允許每個模塊單獨作為獨立單元使用,或連接到復雜配置中的其他模塊,以用於更專業的應用程序。憑借其強大和多用途的特點，它能夠處理多種材料，包括金屬氧化物、矽、復合氮化物和多晶矽。蝕刻器/asher與多種材料和化學品兼容，使其成為加工金屬氧化物、復合氮化物、鎢和大型器件制造多晶矽的理想工具。機載交付系統允許這些材料在同一個過程周期中以一個步驟進一步加工，提供更大的生產吞吐量。蝕刻器/灰化器最多有四個前室門，可以打開或關閉，以防止加工過程中的汙染。此外,它還具有廣泛的安全功能,以確保不會對人員或正在處理的設備造成傷害。LAM RESEARCH DV-38F是一款頂端蝕刻器/asher,能夠在保持較大的生產吞吐量的同時產生優異的效果。憑借其先進的精密控制和高效的工藝周期，它是那些尋找高級蝕刻器/asher的人的理想工具。
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