二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754189 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一種專門為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。它是一種批量加工設備，為用戶提供了非常高吞吐量的可靠、可重復、精確的基板蝕刻或粉刷。系統配備了一個新的強大直觀的Windows操作單元，讓用戶能夠輕松高效地編程批處理參數。機器可以處理基板支架中任意數量的基板，允許用戶在工具內編程自己想要的批量大小。它還具有用於裝載和卸載基板的自動升降機以及用於提高吞吐量至0.2微米線寬的內部真空卡盤。它還配備了嵌入式可編程邏輯控制器（PLC），允許用戶對單個蝕刻/灰分進程進行編程和數據記錄。SEZ DV PRIME憑借其專有的點滴點播和脈沖發射激光放電源,具有高性能蝕刻功能。放電裝在一個定制的室內，為用戶提供無汙染、高精度的蝕刻/灰燼工藝。該腔室還配備了先進的排氣資產，允許快速均勻的氣體流過整個腔室，提供一致和可靠的蝕刻或灰化結果。在安全方面，蝕刻器/asher配備了乘員保護蓋互鎖模型、壓力泄漏傳感器、氣體安全關閉控制、溫度報警設備等多種安全系統。這樣可以確保系統符合最新的安全法規和標準,使其成為用戶安全的蝕刻和灰化裝置。總體而言，LAM RESEARCH DV PRIME是一種專門為半導體器件制造而設計的高級蝕刻器/asher。該機設計用於高通量基板的精確、可靠、可重復的蝕刻/灰化。它配備了一個新的Windows操作工具，並擁有多個安全系統，以確保安全和合規的操作。