二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754191 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一種最先進的蝕刻器/asher設備,旨在為高長寬比處理應用程序提供卓越的工藝能力。它是先進技術節點的理想選擇,例如3D IC、MEMS、高級邏輯和混合模式應用程序。該機配備了大型的、4英寸的熱室設計，提供了更大的體積吞吐量能力，減少了循環時間。通過在整個腔室內安裝光學和其他工藝控制反饋裝置來保持高精度，從而能夠精確控制工藝參數。它還具有多種工藝模式，以適應一系列蝕刻和灰化應用，包括高密度各向同性蝕刻、高選擇性蝕刻和多級蝕刻。該系統還配備了兩個獨立的高端調制器----與傳統的單場調制器相比，SEZ/LAM SEZ DV PRIME的多場調制能力在蝕刻和灰化過程中實現了更高水平的特征級精度。此外,先進的模糊邏輯PID控制、原位角度控制和反應性蝕刻等獨特功能可實現更高程度的過程控制和精度。LAM RESEARCH/LAM LAM RESEARCH DV PRIME除了具有先進的蝕刻和灰化功能外,還可以靈活地配置流程,從而實現更高級別的優化配方,從而獲得理想的效果。此外,它的原位射頻匹配模塊有助於確保每個周期的匹配成功,並便於快速、方便的配方定制和微調。總體而言,SEZ/LAM RESEARCH/LAM DV PRIME是一個先進的多功能蝕刻器/asher單元,專為高長寬比蝕刻和灰化應用而設計。它獨特的處理能力、過程控制和靈活性相結合，使其成為一系列高級應用的理想機器，如3D IC、MEMS、高級邏輯和混合模式技術。