二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9211223 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是為各種材料的高通量處理而設計的先進、高度可靠且成本效益高的蝕刻器/asher。它為各種沈積、蝕刻和灰化工藝步驟提供了一個集成的解決方案。蝕刻器/asher配備了功能強大、中頻、脈沖、多頻射頻電源、壽命長的腔室以及自動化的過程控制和監控。SEZ DV PRIME可以蝕刻和粉刷各種晶圓尺寸,從200 mm到450mm。它還有一個多用途腔室，能夠進行多層次的處理。該腔室可配備多種蝕刻化學物質，如氧、氯、氟、SF6和NF3，以及廣泛的基材材料，如矽、氧化矽、氮化物、聚矽、砷化​​氙、氙和銅等。自動化的過程控制和監控功能減少了蝕刻時間,並允許可重復的過程結果。腔室采用風扇冷卻，並配有各種各樣的上下電極配置，為獨特的工藝需求提供了設計靈活性。該室還有一個低負荷溫度監測儀、一個壓力監測設備和一個用於輸送可選氣體的氣泡系統。惰性氣體可用於安全。該室還有一個可編程的流動氣體控制單元和一個4通道溫度控制器，其最低可達到溫度為-20°C。該機器的設計符合適用的安全標準，包括CE認證和ANSI認證。LAM RESEARCH DV PRIME 蝕刻器/asher是一種可靠且用途廣泛的蝕刻和灰化解決方案,可滿足各種大容量加工需求。它靈活、自動化的過程控制和監控功能可以減少蝕刻時間並提供可重復的過程結果。其風扇冷卻室和可定制的上下電極配置提供了高精度的蝕刻和灰化能力，使其適合多種基板。其惰性氣體安全工具提高了操作的可靠性和安全性。該資產的設計符合適用的安全標準。