二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9239260 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一種緊湊、通用的半自動批刻/灰處理設備,用於各種基材的蝕刻和灰塗層。該系統非常適合蝕刻/灰燼應用在許多應用中,包括通孔、回鉆蝕刻、鉛變更和表面安裝焊料凸點。該單元提供可靠、可重復、一致的加工結果，允許高產晶圓生產。SEZ DV PRIME有一個4軸機器人手臂，其精密模具設計用於精密和可重復的過程控制。機器人自動化包括一個集成的氣體和液體輸送機，它提供了氣體、液體和噴霧材料的精確和精確的輸送。氣體和液體輸送工具得到專用真空子系統的進一步補充，允許在過程中進行精確的真空控制。LAM RESEARCH DV PRIME有一個蝕刻/灰室，旨在為氣態和液態蝕刻/灰過程提供一個屏蔽環境，以最大限度地提高工藝均勻性。Etch/Ash Chamber的設計旨在最大限度地減少顆粒和排氣成分，並提供工藝多功能性。由工業實力計算機控制的資產,運行專有軟件。電腦由19英寸全工業觸摸面板管理，提供易於使用的圖形用戶界面和可重復的過程結果。加工配方是模塊化的，允許對各種各樣的基材和材料進行工藝參數優化。該模型支持批處理或連續處理,可通過軟件選項進行升級,以提高保質期、吞吐量和整體流程性能。數據管理設備可用於質量保證數據監測和數據收集。DV PRIME是半導體潔凈室環境的理想系統。其占地面積小，功耗低，適合半自主實驗室環境使用。該單位是為了符合各種安全和環境標準（如ISO、SEMI和OSHA），以確保人員和環境的健康和安全。