二手 SEZ / LAM RESEARCH ES-34 #9224052 待售

SEZ / LAM RESEARCH ES-34
ID: 9224052
優質的: 2008
Spin etcher (4) Chambers 2008 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH ES-34是一種蝕刻/粉碎器設備,旨在使工程師和研究人員能夠在各種材料上創建詳細而精確的圖案。SEZ ES-34系統利用反應性離子蝕刻技術,利用惰性氣體(如氮(N2)、氫氣(H2)或氙氣(AR))以及蝕刻劑(如CF4、CHF3或C4F8)的組合來創建所需的模式。蝕刻劑被送入工藝室,在其中產生等離子體,導致蝕刻過程發生。LAM RESEARCH ES-34主要由三個部分組成:電源、真空室和工藝室。電源產生高壓低頻,用於產生引發蝕刻過程的等離子體。真空室用於保持單元內部的環境無汙染物,而工藝室則是實際蝕刻發生的地方。該工藝室裝有百葉窗和石英門,以防止汙染進入該室。為了確保將所需的圖樣精確地蝕刻到材料中,ES-34臺機器利用微波等離子體源,能夠產生200°C-400°C的一系列蝕刻溫度。該工具還具有集成的質量流控制器,使操作員能夠精確控制輸送到工藝室的蝕刻量。SEZ/LAM RESEARCH ES-34資產比替代蝕刻系統具有多種優勢。它具有高分辨率氣體分布模型,以確保蝕刻劑在整個處理表面均勻分布,從而實現預先確定的蝕刻模式和對結果的更大控制。該設備還提供良好的過程控制,具有綜合監測和報告能力,能夠蝕刻各種材料。此外,經濟特區的ES-34成本效益很高,可為更大的蝕刻需求提供可擴展的解決方案。總體而言,LAM RESEARCH ES-34系統是一個高效率且經濟實惠的蝕刻/粉刷裝置,提供高精度和控制。它是工程師和研究人員的寶貴工具,非常適合廣泛的應用。
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