二手 SEZ / LAM RESEARCH FM 202 #9226924 待售

SEZ / LAM RESEARCH FM 202
ID: 9226924
晶圓大小: 8"
Backside HF cleaner, 8".
SEZ/LAM RESEARCH FM 202 蝕刻器/asher是一個先進的、高精度的處理空間,配備了最先進的設計。這種單片加工工具占地面積小,非常適合廣泛的生產和研究應用。SEZ FM 202 蝕刻器/asher的設計緊湊,配備9英寸、300毫米或400毫米晶圓托架,集成洗滌器,以及功能齊全的控制設備。它有一個完整的周界屏蔽,以盡量減少溶劑化和顆粒汙染物。它還具有從單個入口操作員界面自動填充和排出的功能,並通過完整的診斷套件實現閉環處理。LAM RESEARCH FM 202 蝕刻器/asher為各種蝕刻和灰化應用程序提供了準確、自動化和可重復的過程。它還能夠在高縱橫比蝕刻等關鍵過程應用程序中執行高價值的過程。通過其先進的技術,FM 202確保了優越的蝕刻均勻性和特性控制。SEZ/LAM RESEARCH FM 202擁有業界最先進的過程控制系統之一。它提供了一個復雜的實時監控系統,以確保任何應用程序的最佳處理,並提供直觀的點上信息以加快和簡化生產。該單元易於適應客戶的特定需求,可以定制以集成用戶的流程首選項。SEZ FM 202 蝕刻器/asher也有出色的安全特性。它旨在應對各種最具挑戰性的環境,並符合安全法規。經UL 1604認證,CSA上市,CE批準。LAM RESEARCH FM 202以其專用的火控機器、高升降安全門、超大型的腔室,提供了安全可靠的蝕刻體驗。FM 202 蝕刻器/asher是各種蝕刻和灰化應用的理想選擇。它提供卓越的性能,確保準確的過程控制,並具有高級安全功能,以實現安全、高效的操作。
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