二手 SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804 待售
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單擊可縮放
ID: 9387804
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Spin etcher, 8"
With spare parts
Single wafer wet chemical spin processor
Manual loading and unloading wafers
Graphical User Interface (GUI)
Single process chemical tank
With filter housing and fully automated
Chemical temperature controlling
With heat exchanger
(16) Process steps
PC Controller
Does not include cassette option
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 13 A
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH MCM 203是一種先進的蝕刻/灰化設備,能夠同時產生高精度、精確和可重復的結果。該系統通過為蝕刻/灰化工藝提供經濟高效的解決方案來滿足集成電路（IC）制造商的需求。該設備的占地面積為1630 x 580mm,具有425 x 425mm的標準最大版面尺寸。SEZ MCM 203利用特殊的多化學機械磨料機蝕刻和圖樣集成電路，采用磨料作用和機械洗滌的三級工藝來塑造材料層。通過精確的接觸控制、低功率設置和受控的加速度來確保刀具在整個板表面的均勻性,從而提高吞吐量和產量。該資產配備了抗腐蝕的ALD/CVD等離子體脈沖模型，用於薄膜蝕刻和光刻粉刷，而LAM RESEARCH MCM 203也提供晶圓清洗的選擇。該設備在低至6毫巴的真空範圍內工作，可在可控汙染的烘烤溫度下加速至500米/秒。MCM 203采用9KW風冷射頻發生器系統設計,可在各種基板上快速重復晶圓成像。SEZ/LAM RESEARCH MCM 203是一款頂級的蝕刻器/asher,旨在滿足大批量生產需求。該單元包括自動滅火器、警報機、聯鎖等強大的安全功能。它以頂級材料進一步構造，包括不銹鋼、鍍銀銅、酚醛環氧板。該工具得到了知識淵博的技術人員的全面支持,他們可以在發生故障時提供操作提示和故障排除。
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