二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293747989 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST100-6 Asher/Etcher是一種多室、植入和蝕刻設備,旨在為客戶提供用於微觀規模可生產設備制造的最先進的工具集。這款SEZ RST 100-6提供了精確的端點檢測和控制，使得能夠制造出納米級的高性能基板和器件結構，從而降低了昂貴的基板，減少了錯過的工藝步驟。LAM RESEARCH RST 100-6系統包括一個專用的端點檢測室、一個或多個離子源的離子植入室以及蝕刻氣體分布索引（GDRI）子系統。該裝置能夠使用各種蝕刻技術，包括精密聚焦離子束、濺射蝕刻和化學蝕刻，處理各種尺寸從2英寸到5英寸的基材。它還與各種晶圓軌道系統和控制系統集成，以及提供一系列的樣品制備和分析系統。RST 100-6 蝕刻器/asher還具有高度模塊化的設計,使客戶能夠輕松地定制機器,以完全符合當前和未來的制造要求。模塊化設計包括高分辨率、高速數字成像、先進的過程自動化、精確的端點控制以及端點標準的定制。該工具還包括集成的輻射安全元件和先進的艙室保護系統，以及創新的徑向掃掠偏置和溫度鎖定飛行時間技術，以完善用戶體驗。該資產是尋求精確控制植入物和蝕刻過程的客戶的理想選擇。可以使用一系列工藝參數對蝕刻速率進行微調，並為模型配備安全、報警、聯鎖和工藝狀態指示燈，以確保操作員的安全。該設備還能夠快速循環時間，確保最小的基板損失和浪費的過程時間。多源設計提供了現場可重復性以及撞擊帶電或中性摻雜劑的能力。SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6還提供來自過程參數和終點標準的實時反饋。結合先進的過程自動化,可以確保蝕刻的可重復性,從而提高設備制造的成功率,並最終最大限度地提高客戶滿意度。使用得當，SEZ RST 100-6能夠產生具有嚴格控制參數的高精度結構，允許用戶以盡可能最高效的方式實現高精度結果。