二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6是一種先進的蝕刻器/asher設備，適用於半導體器件制造的金屬化工藝。該系統非常適合大批量生產應用程序以及需要精細、詳細的生產線工作和模式定義的應用程序。SEZ RST 100-6設計用於200 mm x 200 mm的基板加工，默認特征尺寸為0.35 um，可調至0.20 um。提供的高分辨率電阻電平允許在Si、SiO2、多晶矽、鋁和氧化鋁上蝕刻細紋。該單元包括一個石英或陶瓷敏感器室，有一個石英或陶瓷Cl2/O2源，用於蝕刻光敏抗蝕劑和其他材料。LAM RESEARCH RST 100-6采用低壓、低溫工藝，產生幹凈、高分辨率的線條，不會將材料附著在側壁上。該機器提供精確的溫度和臭氧控制，以及為提高吞吐量而對平板進行伽馬暴露。該工具還包括低壓和低壓過程,可將整個過程減少多達10%。該資產具有很高的流程一致性,可用於需要最小化的應用程序。此外，該模型還提供綜合視覺技術，允許實時監測和在線晶片選擇最佳晶片，提高準確度，減少浪費。RST 100-6使用集成計算機輔助制造（ICAM）設備軟件進行控制,允許從任何工作站對系統進行聯網控制。總體而言,SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 蝕刻器/asher是一種高精度、自動化的設備,專為滿足高容量和長期生產需求而設計,降低了與金屬化工藝相關的成本,非常適合許多半導體器件制造應用。