二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100 #9161499 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 100 Etcher/Asher是一種半自動的asher/Etcher設備,用於在生產運行中對材料進行蝕刻和灰化。它采用4英寸乘8英寸的腔室設計，可以處理包括芯片、玻璃、銅、PCB板在內的多種材料。SEZ RST 100每次運行最多可處理50個晶圓,每個晶圓的吞吐量時間少於5分鐘。LAM RESEARCH RST 100設計采用高速、低壓、無油、無汙染的蝕刻系統。該設備采用帶有液晶顯示屏的個人計算機（PC）來控制蝕刻和灰化時間、溫度和腔室壓力。該機器還具有自動提升功能，可以將晶片從蝕刻器/灰化器傳輸到下一個過程，從而實現晶片的快速處理。RST 100具有卓越的工藝配方控制和驗證功能,可用於改進工藝監控。此工具具有先進的熱輪廓控制,允許在整個腔室中均勻分布溫度,並具有均勻的蝕刻和灰化結果。工藝溫度範圍為25°C至525°C，壓力高達25 Torr。SEZ/LAM RESEARCH RST 100還設計了一個可靠且易於使用的用戶界面,可輕松分批對晶片進行單獨編程,並具有用於安全功能的密碼保護資產。其他特點包括多級真空控制、可編程運行結束通知、可恢復關閉模型；允許使用新配置的參數再次啟動進程。此外，SEZ RST 100擁有出色的安全設備，包括內置的電源故障保護、超壓保護系統、帶有超壓和超真空傳感器的化學安全殼裝置以及氨檢測機。LAM RESEARCH RST 100是蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇,它提供了一種易於使用的基於PC的工具,具有精確的溫度和壓力控制、可靠和安全的密碼保護、出色的安全功能以及自動晶圓傳輸功能。RST 100具有先進的工藝控制和驗證功能，是一種高效蝕刻和粉刷材料的可靠解決方案。