二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293652611 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一種高溫蝕刻/灰分設備,旨在提供各種應用中的最佳蝕刻和灰分結果。該系統利用最新的射頻和直流技術來實現最佳性能和易用性。該裝置設計用於在一個腔室中處理多達三個晶片，包括一個能夠一次處理多達三個基板的裝載站。SEZ RST 101具有分段加熱區,可精確控制蝕刻/灰燼參數。溫度可設定在60°C至110°C之間，有可調節的氣流和壓力以及可調節的反應室大小。這臺機器允許高度選擇性的蝕刻和灰化,具有一貫的高質量的結果.LAM RESEARCH RST-101還采用了一種獨特的「多過程」控制工具，該工具允許選擇最多7種蝕刻/灰燼組合。此資產允許用戶在不同進程之間快速切換,而無需重置參數或重新開始新的設置。此外,該模型為用戶提供了對預先編程的蝕刻/灰分配置文件庫的訪問權限,從而進一步簡化了流程。最後，RST-101附有一個軟件包，可用於監測和調整參數和化學選擇。對於需要進行後蝕刻清理的晶片,SEZ/LAM RESEARCH RST-101包括一個內置的自旋漂洗幹燥機,能夠以高達1200 RPM的速度運行。該單元還具有一系列選項,可實現更大的過程控制和靈活性。LAM RESEARCH RST 101是任何需要精確蝕刻/灰化結果的應用的理想選擇。使用方便，效果突出。此外,設備還采用了一系列高級功能,可精確控制流程,幫助確保用戶獲得所需的確切結果。