二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293753979 待售

SEZ / LAM RESEARCH RST 101
ID: 293753979
晶圓大小: 4"-8"
Spin etcher, 4"-8" Single chamber.
SEZ/SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一種最先進的蝕刻/asher設備,提供熱和化學輔助蝕刻工藝,使復雜蝕刻結構的制造更加精確。該系統提供了一個高度控制的自動化平臺,用於蝕刻和灰化過程。熱蝕刻工藝是幹蝕刻的一種形式,利用熱量從基板表面去除材料。可以調節氣體的溫度和壓力,提供精確的蝕刻效果。在過程中,可以精確控制蝕刻速率以達到所需精度。化學輔助蝕刻工藝是結合蝕刻技術和化學反應工藝的電化學工藝。這一過程允許對具有精確深度和角度的結構進行蝕刻,使其成為生產先進結構的理想之選。該單元還具有進行高分辨率化學蝕刻的能力,具有優越的平面化和剖面化。SEZ RST 101機配備了先進的軟件套件,旨在優化蝕刻參數以確保最佳效果。此程序允許用戶測量蝕刻速率、選擇性和蝕刻深度。它還提供了增強的診斷工具來防止蝕刻綁紮,這會導致結果不均勻。該工具適用於廣泛的蝕刻應用,包括但不限於創建微電子封裝、半導體元件和顯示器,以及生產MEMS和NEMS器件。它的自動化低維護設計為用戶提供了一個可靠的平臺,可用於各種流程,並提供卓越的性能。總體而言,LAM RESEARCH/LAM RESEARCH RST-101 蝕刻器/asher資產是一種先進的蝕刻/灰燼處理工具,能夠提供卓越的蝕刻精度和精確度。其先進的軟件套件允許精確的參數優化,其自動化、低維護的設計使得它成為生產各種蝕刻結構的理想選擇。
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