二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293814149 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是用於半導體晶圓處理應用的專用蝕刻/灰化設備。該系統旨在提供精確的表面制備,提供最高質量的蝕刻/灰分工藝。采用易於使用的集成設計,SEZ RST 101是滿足生產需求的理想選擇。LAM RESEARCH RST-101的核心部件是其室內設計，這在蝕刻/灰燼系統中是獨一無二的。它具有較大的加熱區和風冷升壓裝置，使該裝置具有較高的溫度靈敏度和精度。此外，它的多級溫度控制允許細小顆粒被蝕刻或粉刷而不會對過程產生負面影響。此外，LAM RESEARCH RST 101還配備了催化劑級渦輪分子泵和機械粗加工泵，提供了較高的泵送速度和精確的過程控制。這使得精確的可變壓力氣體蝕刻/灰燼能夠使用適用於許多材料的一系列氣體來執行。清潔、密封的機器還能確保蝕刻/灰分過程中的電路完整性，超細顆粒分離額定值為99.9999%。為滿足制造需求,經濟特區RST-101提供了一系列強大的功能。它配有用於等離子體蝕刻/灰分工藝的內置基板射頻發生器、用於計量的端點檢測工具以及用於在蝕刻/灰分過程中防止氧化的惰性氣體屏蔽裝置。該資產還提供了業界最高的精度,能夠以2 µm ±的精度蝕刻/灰燼特征。為了確保安全，RST 101配備了一種先進的警報模型，可用於監測外部狀況，以及一種化學安全設備，用於監測櫥櫃的裝卸情況。還通過真空監測器和壓力傳感器提高了系統的安全性，該傳感器可監控工藝參數並在必要時向操作員發出警報。最後，RST-101是工業應用的理想蝕刻/灰分單元。其先進的腔室設計、精確的可變壓力氣體蝕刻/灰燼、堅固的功能和集成的安全系統使其成為滿足生產需求的有吸引力的選擇。SEZ/LAM RESEARCH RST-101具有無與倫比的精確度和在清潔環境中加工的能力，是許多半導體制造工藝的組成部分。