二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #9099677 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一種等離子體蝕刻器/灰化器，旨在為業界領先的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和幹蝕刻應用提供高性能處理。該裝置最大工藝室尺寸為8立方英尺，具有處理大小長寬比晶片基板的能力。利用最新的蝕刻器/asher技術,SEZ RST 101能夠實現其規模級別的最高吞吐量。它具有高效、體積小的工藝室、高效的氣流輸送系統和可調節的工藝窗口。它旨在在蝕刻過程中將反應產物沖洗出底物，從而提高精度和精確度。為用戶提供了強大的靈活性,使其能夠為大小晶片基板創建自定義配方。LAM RESEARCH RST-101 蝕刻器/asher配有集成的診斷包和軟件,旨在提供有關晶圓蝕刻過程的詳細反饋。它配置了高級自動化功能,可根據流程條件自動調整交付、一致性和其他方面。該系統可定制運行各種蝕刻，包括各向同性和各向異性蝕刻、定向蝕刻、選擇性硬掩蔽和薄膜堆棧應用的特殊蝕刻。此外,蝕刻器/灰化器可用於在晶片表面創建保護性塗層或層,以保護表面不受汙染物汙染並提高設備性能。RST-101 蝕刻器/asher設計為在具有ISO 5等級的清潔室環境中操作。它具有多種確保最高安全標準的功能，如電子櫃、E-stop按鈕、互鎖和工藝室壓力監控。該裝置還有一個激光源控制系統，可用於精確控制激光的功率和持續時間，以確保產品質量不變。綜上所述，SEZ/MySEZ RST-101 蝕刻器/asher是一種高性能、可靠的器件，可用於精密、精密地蝕刻和粉刷大小縱橫比晶片。它配備了確保高度安全的最新功能，以及根據工藝條件調整交付、均勻性等方面的先進自動化功能。蝕刻器/asher還具有創建定制配方以及在晶圓表面上創建保護性塗層的能力。它配置為在具有ISO 5等級的清潔室環境中運行。LAM RESEARCHY/My LAM RESEARCH RST 101 蝕刻器/Asher具有高性能,是半導體行業應用的理想設備。