二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9394342 待售
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SEZ RST 201-8/6是一種蝕刻器/asher，用於生產半導體器件。它由LAM RESEARCH制造，LAM RESEARCH是一家跨國公司，專門生產和分銷蝕刻/灰燼和其他半導體設備。該模型設計用於去除半導體晶片表面的材料薄層，如圖樣藍寶石基板。這是一種濕蝕刻設備，利用化學溶液將晶片蝕刻到所需的形狀和大小。SEZ/LAM RESEARCH RST 201-8/6具有全自動的計算機控制系統，具有液晶觸摸屏界面和用於設置參數和控制蝕刻過程的高級軟件。它可以被編程為在廣泛的溫度範圍內蝕刻，蝕刻速率可以在過程進行中進行調整。該單元包括一個用於在蝕刻前清洗晶片的背面洗滌器，以及一個氣體分銷商來控制氯的生產以進行額外的蝕刻。蝕刻本身在圓形腔室中進行，其中晶圓在蝕刻過程中旋轉。腔室本身由兩個旋轉的蓋子組成，晶圓圍繞一個中心軸旋轉。使用激光束焊接關閉腔室進行維護工作。此外,RST 201-8/6還配備了傳感器,用於檢測可能發生的任何泄漏或事故。SEZ RST 201-8/6能夠蝕刻直徑達8英寸的晶片，一次的吞吐量可達8個晶片。它的歸一化蝕刻速率為6nm/min,但根據所蝕刻的材料和激光的功率輸出,該速率可以提高到30nm/min。此外,該機器還能夠處理小型試運行和大型生產運行。LAM RESEARCH RST 201-8/6可用於多種應用，從最小線寬0.1微米的圖樣基板到創建復雜的3D形狀。它是一種可靠、經濟高效的工具，可用於各種半導體制造工藝。
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