二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9399478 待售
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ID: 9399478
Spin etcher
Missing parts:
ECO Left and right
Chuck
Elevator
Spindle
Dispenser
Power panel on the left side
Heat exchanger
Pump in CDS
Boards in CDS host
Valve in CDS
Filter in CDS
PC Board
N2 Arm
DI Arm
Suckback module.
SEZ RST 201-8/6是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於執行各種蝕刻、灰化和清洗過程。該系統非常適合需要高精度和重復性的應用。該RST201-8/6包括一個真空室、一個用於加工氣體的主要源、一個用於真空室的控制單元、一個用於主要源的控制器以及一系列用於高度選擇性蝕刻的濺射源。真空機是LAM RESEARCH RST201-8/6整體性能的組成部分。該工具能夠在0.6 Torr的最大壓力下維持10-4 Torr的操作真空水平。這樣可確保流程條件隨時間保持一致,從而確保更好的性能和流程可重復性。主要氣源由四個氣體入口組成，可引入SiH4、CHF3、O2或N2。這使資產能夠在各種過程中蝕刻、粉刷或清潔材料。為確保全面的性能,RST201-8/6采用了一系列十二個濺射源,這些濺射源能夠向基板的廣泛區域提供均勻的電源。RST201-8/6的控制模型基於Labview軟件和編程。此編程使設備能夠精確控制流程參數和其他設置,以便提供最佳的流程結果。編程還允許全自動啟動和關閉過程。來自SEZ/LAM RESEARCH的RST201-8/6是一個高度通用的蝕刻/asher系統,非常適合廣泛的應用。真空裝置具有較高的可靠性和可重復性，而控制機使工藝參數的微調能夠獲得最佳性能。結合主要氣源和濺射源，該工具提供了業界最佳的蝕刻和清潔性能。
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