二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293595864 待售
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SEZ/LAM RESEARCH RST 201是一種自動化的、高精度的蝕刻/asher設備,設計用於研究和生產應用。該裝置利用先進的蝕刻和加工技術，使基板的可控去除得以實現，從而使導電材料或半導體材料高質量地沈積在各種晶圓類型上。兩步過程從利用兩個獨立的電磁樞轉3英寸蝕刻噴嘴和激光引導等離子束的氧等離子體蝕刻系統開始。此步驟從基板表面蝕刻不需要的材料，準備沈積。SEZ RST 201的獨特、業界領先的特點是它的雙光束配置，這使得各向同性（相當於所有角度）蝕刻和定向蝕刻都能實現，這取決於最終應用。其次，LAM RESEARCH RST 201采用SEZ 800 Asher，將導電或半導體材料沈積在基板表面。該裝置有一個精密的板載軟件裝置，用於控制沈積參數，以及三個獨立的激光引導真空噴嘴，可實現精密沈積。最後,RST 201還包括一臺用於處理和過程監控的機器。集成工作站配備了完整的安全聯鎖、電子監控系統,以及可實現自動化維護和故障排除的在線合並和診斷模塊（ODD）。總體而言,SEZ/LAM RESEARCH RST 201是一種功能強大、高精度的蝕刻/asher工具,旨在為各種材料和基材提供可靠、可重現的結果。憑借其雙梁配置和可變處理控制，是尋找高端蝕刻和生成資產的用戶的可靠選擇。
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