二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201J #9059251 待售

SEZ / LAM RESEARCH RST 201J
ID: 9059251
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
Spin processor, 6" 2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH RST 201J是一種自動化蝕刻器/asher,用於半導體工業中,用於制造電路板和其他電子元件。該設備被編程為在基板上精確蝕刻或粉刷多層金屬化材料。SEZ RST 201J每小時最多可處理200個晶圓,並提供精確的蝕刻/灰度到1微米。它的數字控制器和驅動程序允許系統被編程為可變溫度、壓力、功率和蝕刻速度。該單元還包括晶圓狀態和反應控制的集成傳感器和指示器。封閉式溫度控制機利用空氣和氮交換的級聯來維持加工室內的最佳5ARMS溫度。這樣可以精確控制確保一致蝕刻和灰化所需的參數。LAM RESEARCH RST 201J包含一個電化學蝕刻罐,以加快蝕刻和灰化過程,並盡量減少化學廢物。該儲罐的設計可承受蝕刻和灰化過程所需的高晶圓溫度和壓力,分別為4.5ARMS和4.7個大氣壓。該罐還可以處理最高蝕刻速率,因為強大的可變電流參數高達1000安培秒。RST 201J旨在通過提高流程產量、速度和效率來降低成本。其晶圓尺寸的靈活性使工程師能夠最大限度地滿足其特定要求。它還采用了自動晶片加載工具,以盡量減少停機時間。此外,其全面的可追蹤性功能還可以跟蹤晶圓性能和工藝數據。SEZ/LAM RESEARCH RST 201J是那些尋求可靠、可重復和經濟高效的蝕刻和灰化服務的人的理想機器。其強大的設計和精確的晶圓處理能力使其成為半導體和微電子行業的優越選擇。
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