二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 101 #9276809 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 101是一種為幹濕蝕刻而設計的蝕刻和灰化設備。它是晶圓表面鈍化、晶圓後磨和薄膜沈積等多種工藝研發應用的理想工具。SEZ SP 101是基於SEZ/LAM經過驗證的蝕刻和灰化技術。該系統提供增強的流程一致性和可重復性。集成工藝硬件和靈活的軟件控制解決方案使LAM RESEARCH SP 101能夠處理半導體晶圓、納米線、太陽能電池和薄膜器件等廣泛的基材。SP 101旨在提供對樣品環境的精確控制,這對於精確的過程控制至關重要。它具有先進的溫度室控制器和保持樣品室內精確溫度分布的能力，以獲得最佳的工藝控制。而且，SEZ/LAM RESEARCH SP 101也通過其集成的可編程電子束提供精確的蝕刻參數。這樣可以進行精確的濺射、化學蝕刻和材料灰化。該單位還包括清掃技術。這樣可以提高晶片的清潔度,確保表面光滑,以便進一步制作圖樣和進行薄膜沈積。SEZ SP 101用戶友好,具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）。通過GUI,用戶可以選擇工藝配方,輸入蝕刻參數並存儲工藝配方以備將來使用。直觀的GUI還允許高效的多步蝕刻和ashing過程控制。LAM RESEARCH SP 101是一種可靠、堅固的蝕刻和灰化機，旨在滿足研究實驗室的需求。它具有精確的工藝控制、精確的薄膜沈積以及提高的均勻性和可重復性。此外,其用戶友好的圖形界面簡化了蝕刻和灰化設置,同時允許用戶存儲工藝配方以供將來使用。