二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 102 #9312906 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 102是一款用途廣泛的等離子體蝕刻器/灰化器,在許多行業中都有許多應用。它專為處理多種基材而設計，可適應各種工藝，包括蝕刻、灰化和濺射沈積。SEZ SP 102有一個容量可達400升的真空室，最多可配備四個工藝端口。腔室然後連接到真空泵、質量流量控制器、渦輪分子泵和可變排氣設備。這使LAM RESEARCH SP 102能夠滿足現代蝕刻和灰化工藝的最高要求。SP 102的控制系統允許創建各種針對特定過程需要量身定制的預設配方。這種微調單元允許精確蝕刻/灰度與精確的定時和溫度控制。過程氣體以所需的質量流速直接送入腔室，結果是一個幹凈可靠的過程。所有的處理參數都可以用前面板控制器調節，如RF/DC發電機輸出功率、過程壓力和RF/DC發電機頻率。SEZ/LAM RESEARCH SP 102配備了一個視口，用於監視室內現象，所有必要的保護系統，包括火花計數器和端點監控，都集成到機器中。此外,SEZ SP 102還提供多種功能,旨在最大程度地提高吞吐量和產量。例如，先進的原位清洗工具允許高效清除過程殘留物，而自動基板處理則使多個批次能夠以最小的停機時間進行處理。總之，LAM RESEARCH SP 102是一種強大而靈活的等離子體蝕刻/灰化資產，為用戶提供了以精確的定時和溫度控制處理多種基板的能力。它具有許多使吞吐量和產量最大化的功能,使其成為所有類型的蝕刻/灰化應用程序的理想選擇。