二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293593037 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一個最先進的、高精度的等離子體蝕刻和灰化系統。對於需要精確放置、選擇性去除、定向表面紋理和細膩的電介質蝕刻的應用來說，這是一個極好的選擇。SEZ SP 201利用射頻電源產生的等離子體,具有可選的偏置電壓,能夠在不同材料（包括半導體、金屬和塑料）的基板上對復雜結構進行高質量的陣列化。LAM RESEARCH SP201的晶圓尺寸為25厘米,氣體平均功率W/cm2 2-3.3,目標晶圓距離為25厘米。它還具有1250度C的最高溫度和高達30 mA的電流範圍。這些特性結合在一起，創造出高度的多功能性和準確性，使其能夠在蝕刻行業中取得一些最高質量的成果。SEZ/LAM RESEARCH SP201的設計旨在提高蝕刻和灰度的精確度和精確度,它具有「自動調諧」功能,有助於確保射頻源和基板之間的最佳匹配。這最終導致更高的吞吐量和更高的質量。此外,該腔室還具有浮動高效真空泵、晶圓級校準、自動調平卡盤、精確軟件可控制的「蝕刻速率跟蹤」以及強大的計算機控制液晶顯示屏,可精確查看。經濟特區SP201由一組熟練的工程師維護和服務，他們提供持續的支持和維護。包括減壓閥和氣體調節器監控器等專門的安全功能，以確保無風險操作。現已采取安全措施，保護操作員免受與等離子體操作有關的任何健康問題的影響。總而言之，LAM RESEARCH SP 201蝕刻器/灰泥是一種可靠、精確的蝕刻和灰泥設備，具有卓越的精確度和吞吐量。它非常適合要求精確放置、選擇性移除、定向表面紋理和細膩蝕刻不同基板的應用。對於那些希望獲得高精度和一致性的計算機,SP 201是理想的選擇。