二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293795620 待售

ID: 293795620
晶圓大小: 6"
Etcher, 6" Control rack Rack Panel.
SEZ/LAM RESEARCH SP 201蝕刻機是一款先進的幹式蝕刻機,設計用於對各種半導體和介電材料進行高精度蝕刻。該機配備了最先進的光學控制系統,能夠產生高精度、高可重復性的超細特性。蝕刻過程在真空室中進行,真空室在極高的溫度和壓力下保持。這確保蝕刻速率保持不變,蝕刻質量高度一致和可預測。SEZ SP 201蝕刻器具有廣泛的過程參數,使用戶可以靈活地根據其應用程序要求定制蝕刻過程。該機可配置為精確蝕刻厚度在20微米至1000微米之間的基板,具有很高的重復性和精確度。蝕刻器還具有一系列蝕刻氣體調節器,使用戶能夠控制蝕刻氣體的流動,並確保蝕刻過程達到正確的成分。機器還配備了強大的直流電(DC)蝕刻源,能夠產生高水平的離子能量進行蝕刻。這允許用戶創建精確、精細的蝕刻功能,具有非常高的準確性和可重復性。這種高精度蝕刻還可確保蝕刻零件的表面光滑且無任何瑕疵。此外,蝕刻器的濺射模塊使用戶能夠對部件的任何形狀或大小進行濺射,並以嚴格的重復性創建復雜而復雜的表面特征。LAM RESEARCH SP201蝕刻器也非常通用,能夠處理各種基材,包括金屬、陶瓷、聚合物和玻璃。這使得用戶可以為自己的材料選擇最合適的蝕刻工藝,也便於生產各種不同的元件。此外,機器的自動化操作系統大大簡化了蝕刻過程,並允許用戶為最高效的蝕刻過程優化參數。這樣可以確保用戶始終通過蝕刻實現高質量和高精度。
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