二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9361814 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一款先進的蝕刻器/asher,用於多種行業的廣泛應用。該設備能夠以極高的精度對各種材料進行蝕刻和/或粉刷。它旨在成為一個集成、可靠且經濟高效的解決方案。該系統能夠一次蝕刻和灰化多達四個晶片。它有四個直線軸，用於精確控制和對準卡盤、基板和噴嘴運動。該裝置配有射頻發電機，為基板提供精確的功率水平，以便進行精確和可重復的蝕刻和灰化過程。還包括一個易於真空水平控制的泵站和一個氮氣凈化機，允許在蝕刻室中進行大氣控制。其多室設計使各種表面處理方法得以實現，第一室用於清除汙染物，第二室用於高能處理，第三室用於快速冷卻速率。此外，它的負載鎖定工具可以快速裝載和卸載基板和半導體晶片，而不會破壞工藝室的真空。SEZ SP 201以其價格提供高級性能,包括12位分辨率、精密電機控制、噴嘴自動對準以及能夠同時使用5000和6000W射頻發電機等功能。它還配備了廣泛的配件，以適應任何蝕刻或灰化工藝。該資產的真空泄漏率非常低，確保了統一的工藝和清潔的最終產品。此外，該模型還采用了多種安全聯鎖、腔室聯鎖以及一、二次排氣系統等先進的安全特性。這樣可以確保設備在運行的所有階段都是安全可靠的。LAM RESEARCH SP201是需要精確蝕刻和灰化工藝的理想解決方案。它旨在提供優異的效果和經濟實惠的價位。它是一種高度先進的蝕刻器/灰化器，可以增強任何蝕刻和灰化工藝，是任何工業應用的絕佳選擇。