二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9384204 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一款蝕刻器/asher，其設計目的是在微觀蝕刻方面達到盡可能高的精度。SEZ SP 201能夠用作獨立工具或更大系統的一部分,能夠進行蝕刻、灰化、薄膜沈積等。它是一種可靠、精確的機器，非常適合各種不同的研究和工業任務。LAM RESEARCH SP201具有雙基板加工室,允許同時蝕刻兩個基板。這種雙腔室是針對最大吞吐量而優化的，兩種基材配方都是獨立加工的。腔室配有石英隔熱板，保護底物DNA免受蝕刻過程中產生的熱量。石英屏蔽也保證了精確的溫度控制。該蝕刻器具有先進的軟件系統,可控制各種參數,如蝕刻電流、電壓、基板溫度、O2和H2分壓、基板厚度等。這允許用戶利用蝕刻器/asher進行各種復雜的蝕刻技術以及各種金屬和介電薄膜的沈積。SP201的分辨率為0.5 μ m，可重復性為0.5 μ m。這確保了極其精確的蝕刻和灰度處理,使SEZ SP201適合要求最高精度的應用程序。SP 201配備了兩種截然不同的蝕刻方法，可用於加工多種基材。幹蝕刻用於蝕刻氧化物、氮化物、有機物和大多數金屬，而濕蝕刻則用於去除較厚的多晶金屬薄膜。LAM RESEARCH SP 201還有一個抗粘連裝置，有助於減少蝕刻過程中的抗粘連缺陷。SEZ/LAM RESEARCH SP201是一款具有高精度和高重復性特性的蝕刻器/asher。它非常適合以盡可能高的精度執行各種類型的蝕刻和薄膜沈積任務。蝕刻器/asher可以同時快速加工多種基材，使其成為材料研究和工業應用的高效工具。