二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9207192 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一款全自動的等離子體蝕刻器/asher，專為研發目的而設計。它利用最新的技術來產生高質量的結果。SEZ SP 203具有集成的真空隔離設備以實現最大程度的過程控制,以及一套用於可靠操作的自動化控制和過程配方控制參數。LAM RESEARCH SP 203具有三個獨立的非接觸式電極系統，使氣體、功率和偏置的獨立控制能夠改變等離子體特性。它的最大工作壓力為600mTorr，工作壓力範圍為0.15-110mTorr，使其適用於各種工藝氣體，如NF3、CHF3、NH3、AR和CBr4。此外,它還具有優化的電弧放電源,用於均勻等離子體聚焦和置信度.SP 203還具有許多其他方便和可靠的功能,例如基板表面溫度監測系統、用於在蝕刻過程中阻擋入射光束的內置快門以及用於樣品溫度控制的堅固冷卻裝置。它有一個集成的二次隔離室，通過消除樣品之間的交叉汙染，可用於產生高精度、高度受控的蝕刻和蝕刻/剝離工藝。為確保質量蝕刻,SEZ/LAM RESEARCH SP 203配備了全面的電氣接地機、光發射監測以確保輸出的均勻性,以及射頻沖刷工具。為維護過程完整性，SEZ SP 203帶有多種配方控制功能和高級安全功能。為方便起見，它有一個圖形用戶界面，可以方便地對資產進行編程和配置。最後，LAM RESEARCH SP 203是一款先進可靠的蝕刻機，具有最新的技術進步。其廣泛的功能使其能夠產生具有可靠性、便利性和過程完整性的高質量結果。