二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9217507 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9217507
Spin etcher, 8"
(2) Shutter door load ports
Open cassette with manual cassette loading
Standard wafer handling with wafer backside and front side operation
ATM407 Robot handling with CYBEROPTICS laser mapper
Vacuum ceramic end effector single sided
(2) ECO Grippers for wafer transfer
Standard pin chuck 200/200/200
DIW Rinse arm
N2 Dry arm
Medium dispenser arm
Single HEX heater
Heat exchanger
USF100 Ultrasonic flow meter (Chemical flow meter)
Chemical cabinet (CDS)
Integrated PDB
Shutter load port open / Close motor controller missing
Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz, 60 A
2010 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一款先進的蝕刻機/asher機器,具有最先進的自動化功能,能夠快速高效地清潔表面。它設計用於各種工業過程中可靠、安全的操作。這臺機器非常適合那些需要在最短的停機時間和維護停機時間內頻繁對硬質表面進行深度清潔的公司。SEZ SP 203提供高度精確的自動化控制,以幫助處理多種材料,包括金屬、塑料、塗層、介電材料和玻璃。它配有強大的雙頻液晶面板,可精確控制溫度設置,並配有內置風扇,以保持室內溫度的控制和一致性。此外,它還配備了一個自我診斷系統,在機器性能開始下降時向用戶發出警報,從而使維修和維護人員能夠盡快獲得準確的信息。LAM RESEARCH SP 203還配備了綜合排氣系統,用於清除室內大氣中的廢料,從而實現安全高效的處理。內置的安全功能,如安全關閉裝置和絕緣安全殼,進一步確保用戶在操作過程中受到保護。而對於需要統一結果的操作,SP 203配備了可編程邏輯控制器(PLC)系統,使各種可編程參數得以快速存儲、編輯和執行。該機還可配置以容納不同的基板和腔室尺寸,允許用戶使用一系列結構材料。最後,SEZ/LAM RESEARCH SP 203提供尖端的自動化功能和一流的安全功能,以可靠可靠的性能提供頂級的蝕刻和灰化操作。憑借其堅固的構造、一致的溫度和可配置的功能,SEZ SP 203能夠在不犧牲效率或功率的情況下實現統一的結果。
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