二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9276814 待售

SEZ / LAM RESEARCH SP 203
ID: 9276814
晶圓大小: 6"-8"
Spin etcher, 6"-8".
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一種蝕刻器/asher,用於從包括硬金屬、合金和覆蓋矽片在內的一系列基板表面精確去除材料。具體來說,設備配備了ICP(感應耦合等離子體)源,利用高頻放電產生蝕刻或灰化過程。在多次運行中,結果一致、精確且易於重現。強大的ICP源產生的蝕刻速率高達8,000埃/分鐘,具有出色的表面輪廓。此外,該系統能夠累積長達10分鐘的蝕刻時間,還能達到高達1000攝氏度的溫度。該設備能夠使用簡單的用戶界面自動控制蝕刻過程。它配有過程控制器模塊,具有圖形用戶界面,便於編寫蝕刻時間和溫度設置。通過對每個蝕刻工藝的結果進行分析,可以快速確定和控制特定材料的最佳工藝參數。該工具設計具有多種安全功能,包括等離子體和操作員之間的物理屏障,以及內置的屏蔽護罩和排氣羽流外殼。具有耐用的不銹鋼結構和惰性氣氛,該資產非常適合在任何實驗室環境中使用。SEZ SP 203非常適合高精度的蝕刻和灰化應用。該模型具有強大且用戶友好的設計,在幫助實驗室進行高效、準確的蝕刻和灰化過程方面非常寶貴。對於任何實驗室環境而言,它都是一種可靠而強大的蝕刻器/灰化器。
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