二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9407543 待售
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已售出
ID: 9407543
晶圓大小: 8"
Spin etcher, 8"
Front UI
ULPA Filter
Ionizer system
(2) Load ports (Left and Right): 8
Load-port adapters: 8
Chuck Size (Left and Right): 8"
Chemical module1: DI
SMIF Non-functional
Power Distribution Box (PDB)
Cables
Does not include:
Rear UI
Flip module
End point detection system
HORIBA Concentration monitor (HF Monitor)
(2) Heat exchangers
Wafer ID Reader
RFID Reader
AGV
Ozone module
Transformer.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一種高精度的蝕刻器/asher設備。它是SEZ/LAM研究系列的一部分,旨在滿足高級研發應用所需的嚴格標準。SEZ SP 203具有高度通用的多用途系統,能夠完全控制蝕刻和灰化過程。該單元有四種蝕刻或灰燼配置的選擇，具有多種輸送和氣體入口系統。它能夠用一系列材料和基材、單層或多層、平行或垂直表面以及許多不同厚度進行蝕刻或灰燼。LAM RESEARCH SP 203具有廣泛的控制選項,包括精確的數字讀出,可用於設置所需的蝕刻或灰化參數。它具有控制氣體流量和壓力的獨立氣量計，以及控制蝕刻速率、基板溫度和表面清潔度的可調溫度設置。SP 203利用基於PC的軟件對單個蝕刻或灰處理進行編程,並創建循環配方。該軟件具有用於設置流程的直觀圖形界面,易於使用的菜單和控件便於操作。SEZ/LAM RESEARCH SP 203還具有內置的安全和監控機器,以確保蝕刻或灰化過程中的最佳條件。它使用先進的傳感技術來檢測任何潛在的危險事件，並自動關閉蝕刻/灰化操作。它還有一個警報工具，允許實時監測蝕刻/灰燼過程。SEZ SP 203設計人性化,考慮到高性能。它的高級設計確保了所有蝕刻或灰燼工藝的準確性、可重復性和可靠性。其高品質的零件提供卓越的性能和可靠性,同時提供長期耐用性。總體而言，LAM RESEARCH SP 203是一個創新和通用的蝕刻和灰化應用解決方案。其先進的特性和設計使其成為研發和生產用途的理想選擇。SP 203提供高精度、準確性和可重復性,使其成為任何實驗室或生產環境的理想工具。
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