二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293655016 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 223是電子工業中使用的一種精密的蝕刻/asher，用於高分辨率光刻面膜和晶片的蝕刻和粉刷。它是一種並行批處理設備，能夠同時處理多達四個晶片。SEZ SP 223有一個活動/非活動交換機,允許用戶在進程之間進行切換。蝕刻器/灰化器有兩個腔室，每個腔室都有自己的等離子體源、氣體輸送系統和蝕刻/灰燼室。腔室連接到等離子體處理器，該處理器控制過程的壓力、氣流、射頻發生器頻率和其他參數。流程參數是從預定義的配方中導出的,存儲在設備的內存中。LAM RESEARCH SP 223機設計為蝕刻/灰光掩模，分辨率小於1微米。高分辨率是由刀具的有源腔室控制資產實現的,該資產保持精確控制的環境並確保精確的蝕刻/灰化。此外,該模型還提供了兩種截然不同的配方,可用於在一個過程中蝕刻/清除單個掩模。該設備還內置了旨在最大限度減少蝕刻/灰燼損壞的防護裝置。該系統的等離子體屏蔽、小容量輸送裝置和事故預防機器旨在保護被加工的掩模或晶圓不受過度蝕刻、暴露於氫氣或其他破壞性物質以及其他潛在危險的影響。SP 223是一款堅固可靠的蝕刻器/asher,以經濟實惠的成本提供精確的控制和高性能。對於任何需要一致方式來準確快速地處理其光刻面膜和晶片的人來說，這是一個完美的選擇。