二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293775027 待售
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ID: 293775027
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Etcher, 8"
Process: Post etch polymer removal
Factory interface: (4) SMIF
Handler system: Single wafer process
(3) CDS
CIM
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 223是一款將高端工程和創新技術相結合，以最好地滿足晶圓應用需求的蝕刻器/asher。SEZ SP 223是一種靈活的全系列設備,具有提供高級靈長類動物和系統控制功能的過程模塊。該單元完全可配置為8到30英寸的處理區域,最大200毫米可用於均勻分配,8個精密電動級,以及600毫米驅動容量。這使得它適用於更大的晶片和PDK以及簡單的面膜和基板。LAM RESEARCH SP 223配備了各種針對各種蝕刻/asher應用量身定制的工藝模塊。RIE模塊提供對反應物和氣體的精確控制，在廣泛的晶圓應用中提供均勻的蝕刻特性。熱等離子體RIE允許非常大範圍的氣體化學混合，使其適合更復雜的材料包括氮化物、氧化物和聚合物。先進的PDL模塊包括針對超低等離子體損傷量身定制的功能集,即使在低溫或低真空陣列過程中也是如此。快速晶片功能還可以實現優化的吞吐量。該機器還具有用於自動晶圓映射的強大工藝工具。先進的晶圓圖使得自動反饋控制系統能夠優化均勻性。該工具還提供一流的晶圓清潔度,以實現最高的產量和可靠性。配方驅動的界面提供實時的流程開發工具，例如用於交互式設計、編程和加載流程的流程生成器。SP 223還包括用於監視整個過程的集成實時檢測資產。SEZ/LAM RESEARCH SP 223配備了可最大限度減少粒子和分子汙染的集成腔室設計。高真空和高級渦輪分子泵提供了極致的過程控制.該套件還包括先進的高性能氣櫃，能夠實現無與倫比的氣流條件，便於工藝集成。總體而言,SEZ SP 223是一款蝕刻器/asher,它結合了最新的精密機動化階段、先進的靈長類動物和模型控制功能、一流的晶圓清潔度以及尖端自動化技術。它適用於廣泛的蝕刻/asher應用，非常適合那些尋求高精度控制和可重復工藝性能的人。
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