二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293818314 待售
網址複製成功！
ID: 293818314
晶圓大小: 8"
Dielectric etcher, 8"
Bernoulli handling, 8"
Pinless chuck
Pin chuck
Cold Direct Injection (DI) nozzle
Hot Direct Injection (DI) dispenser
Double heat exchanger with Lauda for Direct Injection (DI)
Double heat exchanger with Lauda for Medium 2
Single heat exchanger with Lauda for Medium 1
Single heat exchanger with Lauda for Medium 3
(2) Chemical cabinets
Main tank
Buffer tank
Mix tank
Pressure regulator for facility lines
Drain pump station.
SEZ/LAM RESEARCH SP 304是設計用於半導體制造的等離子體蝕刻器/asher。具有較高的半導體材料的蝕刻、灰分和變質能力，具有較高的吞吐量和精確度。這種設備非常適合用於芯片原型制作的蝕刻和復印光刻屏蔽,以及用於LED、TFT和LCD制造的重新打磨表面。SEZ SP 304配備了先進的標量控制系統，在廣泛的基板配置上提供卓越的均勻性和過程重復性。該單元允許用戶精確調整各種處理參數和工作時間，可以即時修改，也可以從機器內部創建的程序加載。LAM RESEARCH SP 304還利用高功率射頻發電機，允許在各種基板上進行高通量蝕刻和灰化。SP 304具有增強的蝕刻和灰化功能的獨特組合,使基材能夠快速且精確地蝕刻和灰化。這是通過蝕刻源和異源實現的，這是兩個單獨的等離子體源，可以組合或連續用於高精度蝕刻和灰化。通過同時具有直流偏置源和微波源,用戶可以同時運行蝕刻和灰化過程,從而縮短運行時間。SEZ/LAM RESEARCH SP 304還采用了雙室設計，提供了更方便的基板裝載和改進的上層甲板通道。上室設有多個目標，並配有石英板加熱器，用於精確的溫度控制。這樣可以確保基板溫度一致,從而提高工藝的可重復性。SEZ SP 304是一款功能強大的蝕刻器/asher，為各種半導體材料提供卓越的吞吐量和精度。憑借其先進的標量控制工具、雙腔室設計以及增強的蝕刻和灰化特性，為生產高精度、一致通量的蝕刻/灰化基板提供了可靠、可重復的平臺。
還沒有評論