二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9093794 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9093794
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Spin etcher, 12"
Single wafer processing
(1) Process chamber
(2) Load ports
8” / 12” Conversion kit
Main unit (MU):
FM 4910 compliant
Dual FOUP wafer loader system
Robot backside and frontside handling (12 B/F)
Equipment robot + flip module
Wafer ID reader
Step-up transformer (208V-400V)
Mini environment with ULPA filtration
(3) Chemical cabinets (CDS):
FM 4910 compliant
Preparatory tank
Buffer tank
Mix and buffer
Chemical storage reservoir
ENTEGRIS Valves (flaretek)
Nippon pillar pumps for supplying, recycling, and draining of chemical
Filter housing
Dual high temperature heat exchangers for chemical temperature control
Paddle wheel
Chemicals used:
Nitric acid
Phosphoric acid
Hydrofluoric acid
HF/HNO3 (1:25)
HF/HNO3 / H3PO4 (1:6:4)
Filter fan unit
UL Certified
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 304 蝕刻器/asher設備是一種用於半導體制造工藝的基材材料蝕刻和灰化的工具。它能夠執行各種工藝步驟，如濕蝕刻、幹蝕刻、光致抗蝕劑剝離和抗條帶蝕刻。該系統具有兩個獨立的過程模塊，每個模塊都有自己的獨立控制單元。第一個模塊是蝕刻站，用於基材的蝕刻。它具有可編程的蝕刻工藝，如反應性離子蝕刻、等離子體蝕刻和幹蝕刻。蝕刻站還能進行清潔和選擇性步驟，如氧化物浸漬、光刻膠剝離、抗條帶蝕刻等。第二個模塊是ashing station。用於從基材中去除光刻膠、聚酰亞胺等有機材料。此功能使無掩碼光刻過程能夠非常快速地完成。這兩個過程模塊都是為最大吞吐量和靈活性而設計的。它們具有先進的過程控制系統,可確保精確的溫度和功率控制。此外,每個模塊都配備了快速沖洗功能,可以快速進行全場蝕刻和沖洗。此外，這兩個模塊還具有集成端點檢測機，可以檢測任何蝕刻或灰化步驟的末端並相應調整過程。SEZ SP 304是一個可靠的工具,以安全可靠的方式運行,並且至少需要用戶維護。資產符合安全和環境標準,例如IS09001和SEMI S2。該模型的低成本和緊湊的設計使得它成為一個理想的選擇既建立和新興的織物。LAM RESEARCH SP 304 蝕刻器/asher是一種高度通用的設備,能夠執行許多過程步驟。它使制造商能夠以優異的產量蝕刻和灰燼，同時也提供一致和可靠的結果。它是確保半導體制造過程質量的經濟高效的工具。
還沒有評論