二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9397342 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 304是專門為電子工業開發的蝕刻器/asher。它是一種寬腔室加工工具，能夠蝕刻和清洗各種材料。這款多室、多過程蝕刻器/asher具有最先進的工藝控制和性能,使其成為任何生產環境中可靠、可靠的工具。SEZ SP 304配備了蝕刻、清潔、帶狀、沖洗四個集成腔室。蝕刻室的設計能夠提供卓越的性能，同時保持可重復的過程控制。它裝有高性能離子源，可以方便地調整各種工藝參數。清潔室利用磁性輔助脈沖等離子體清洗最大限度地控制過程，使循環時間更快。帶狀室的設計目的是快速有效地去除不需要的材料層，而沖洗室的設計則是在基板從機器上取出之前提供最後的沖洗。LAM RESEARCH SP 304的高級控制系統允許所有流程參數的自動化，以及針對特定流程需求的配方定制。綜合流程監測進一步加強了該系統，從而能夠持續監測所有流程參數，以更好地確保可重復性和質量。SP 304有一個大容量的加工室，能夠處理各種各樣的基材尺寸。它還可以配備多種起重機構，以實現各種尺寸和形狀的操控。SEZ/LAM RESEARCH SP 304具有全面的控制和先進的技術,旨在確保無缺陷的結果,同時減少報廢和停機時間。SEZ SP 304在可靠、可靠且經濟實惠的平臺中提供了無與倫比的性能、質量和吞吐量。它是電子行業尋求各種材料的低成本、可靠和高性能蝕刻的完美解決方案。