二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293824790 待售
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款針對各種材料蝕刻和灰化應用而設計的蝕刻器/灰化器。該設備針對高吞吐量進行了優化，適用於快速周轉應用。這個系統可以用一個12英寸的多室工藝室處理各種尺寸和材料的晶片。SEZ SP 323采用最新技術建造，並具有SEZ專利的多反應堆技術TM，它允許在一個腔室中輸送不同的蝕刻和灰化化學物質。它還采用最先進的射頻和直流等離子體源進行設計，以確保晶片到晶片以及腔室到腔室的均勻和可重現的工藝結果。該單元為晶片批處理應用提供了具有高度可重復性的精確控制。LAM RESEARCH SP323還提供了廣泛的工藝支持功能,如壓力監測、溫度控制、濕度監測、顆粒過濾和蒸汽輸送。該機還為用戶配置的過程參數和射頻晶圓映射解決方案的集成提供了平臺。這樣就可以精確控制各個腔室中的工藝參數,從而使工藝工程師有更大的自由來構建配方和維護批處理後的工藝一致性批處理。SP323采用全面的用戶界面設計,具有直觀的圖形界面和數據庫連接,使用戶可以輕松自定義配方和流程參數。此工具還提供靈活的遠程過程監視和控制,包括實時數據訪問和報告功能。總體而言,SEZ/LAM RESEARCH SP323是適用於各種材料蝕刻和灰化應用的理想蝕刻/灰化解決方案。它提供了高級流程參數控制、精確可重復、流程結果、廣泛的流程支持和直觀的用戶界面,非常適合快速周轉、復雜的制造流程。
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