二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9211042 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款蝕刻器/asher，設計用於幹蝕刻和灰化矽、銅、玻璃等材料。它具有石英塗層的大面積腔室，加熱到2450°C，用於高密度等離子體蝕刻。它在高密度等離子體（HDP）下運行，沈積速率高達10A/min。SEZ SP 323提供了一系列可供選擇的腔室,具體取決於對象的大小和需要進行的蝕刻/灰化類型。真空範圍為10-5 torr至10-4 torr,功率輸出高達40kW（泵送至13.56 MHz左右的射頻頻率時,非常適合復雜的蝕刻作業。為防止損壞細膩的表面，腔室還提供電子噴槍和氮氣回冷墻，以確保沒有化學汙染。LAM RESEARCH SP323由真空室和射頻發生器兩個室組成。真空室密封，確保加工條件均勻。該腔室由石英制成，為關鍵應用提供了更長的使用壽命和更好的加工精度。射頻發生器將射頻波送入腔室，使過程參數得到精確控制。SEZ/LAM RESEARCH SP323配備了四和數字射頻光譜系統、法拉第探測器、質譜系統、計算機輔助等多種診斷工具。這些系統允許精確測量電子溫度、離子溫度、等離子體種類和密度等特性，以及反應物/產物比率。這可幫助用戶確定當前任務的最佳處理條件。總體而言,SP 323是一款高性能蝕刻器/asher,設計用於處理即使是最苛刻的幹蝕刻和灰化作業。憑借其大面積的石英室、氮冷壁和射頻發生器，該機為矽、銅、玻璃等材料的蝕刻和灰化提供了最佳環境。此外，它的高沈積率使其適合大批量生產環境。