二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9329269 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款蝕刻器/asher，設計用於低壓等離子體蝕刻和灰化。它是一種裝有特殊工藝特性的真空室工具，非常適合各種需要精確控制工藝參數和材料的應用。SEZ SP 323允許用戶在比傳統等離子體方法更低的溫度下蝕刻和灰燼，並實現更清潔的表面。它在設計中融入了多項工藝創新，使其成為當今最先進的蝕刻器和分類器之一。LAM RESEARCH SP323是一種直立、全自動的設備。其最大載荷容量為2.5千克，並設有集成載荷鎖室。其等離子體工藝設計提供了比傳統等離子體蝕刻和灰化方法更高程度的工藝均勻性和可重復性。該系統配備了三區熱控制單元，允許對腔室、腔室壁和等離子體腔室進行精確的溫度控制。這使用戶能夠隨著時間的推移更準確地重復他們的過程。LAM RESEARCH SP 323設計具有很高的靈活性，具有廣泛的工藝參數和材料類型，可以容納。它有一個主動過程監測機，為用戶提供等離子體過程參數的實時反饋，並允許他們即時進行調整。該工具具有主動冷卻資產,允許延長運行時間而不會降低腔室環境。它由設計用來承受惡劣的等離子體處理環境的材料構成,從而最大程度地減少了停機時間。此外,SEZ SP323具有高度可定制性,可以配置為滿足各種客戶要求。它可以集成到現有的操作中，包括機器人技術和自動化系統。該模型包括一個功能強大且用戶友好的軟件包，可以方便地設置和控制。該軟件允許主動監視流程參數以及數據記錄以進行詳細分析。SEZ/LAM RESEARCH SP323是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher設備。它的設計采用了幾種先進的工藝創新，使其成為目前最靈活的系統之一。它的低壓等離子體蝕刻和灰化能力使其成為各種應用的理想選擇，而其主動冷卻系統則允許延長運行時間而不會損壞腔室。其集成的軟件單元提供了對過程參數和材料的精確控制,其可定制的設計使其能夠滿足各種客戶需求。