二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9366266 待售
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款為半導體和FPD（平板顯示器）生產而設計的蝕刻器/asher。它為各種蝕刻和剝離化學材料提供自動化性能。這種多功能設備具有先進的系統集成、高級流程控制和多級自動化。SEZ SP 323的占地面積很小,可輕松融入現有生產線。它的模塊化設計可確保快速交換元件,從而使拆卸和組裝時間少於15分鐘。該單元具有兩個區域的Split-Zone Reflexion和Impingement。這樣可以提高基材和工藝的均勻性,以適應不同的模具和模具尺寸、工藝和溫度。該機具有高速、大型的艙室間運輸能力。在任何配方組合中,每批處理過程最多可容納44個模塊,每個IC（集成電路）最多可容納4個有源模塊。此外，LAM RESEARCH SP323采用可調高頻發電機進行三維等離子體阻抗控制。此外,SP323還包括一個高級軟件包,可對每個批處理運行提供更精確的控制。這包括功能強大、靈活的配方編輯器和數據分析軟件包,允許對蝕刻過程進行全面遠程控制和監控。軟件包還允許參數調整和微調功能,從而可以優化蝕刻過程。最後,經濟特區SP323提供了增強的安全功能,包括自動溫度監控、內置安全鎖定工具和可選的I類, II類,經認證的危險位置機櫃。這使得資產非常適合任何危險環境。綜上所述，SP 323是一款為半導體、FPD等生產線設計的蝕刻器/asher。它具有小占地面積、模塊化設計、高速傳輸功能和用於優化蝕刻的高級軟件包。此外,它還具有增強的安全功能,非常適合危險環境。
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