二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #293821688 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300是一款功能齊全的蝕刻器/asher，設計具有先進的生產效率和半導體制造工藝能力。該模型可支持多種蝕刻和灰化工藝，包括深反應性離子蝕刻（DRIE）和化學機械拋光（CMP），以快速準確地去除材料。配備先進的工藝控制工具，SEZ SP 4300是高產生產環境的理想解決方案。LAM RESEARCH SP 4300采用可靠的熱敏傳感器工藝設計工藝室.該腔室能夠在低壓或高壓下運行，具有一定範圍的溫度和氣體混合物，允許蝕刻或粉刷最苛刻的生產作業。腔室還設計了可清潔部件，以盡量減少顆粒汙染，因此不需要額外的清潔周期。該室配有高精度石英壓力傳感器和有源ICR蒸發器，用於精確控制蝕刻和灰化過程。在工藝室之上，SP 4300有一系列先進的工藝工具，以確保達到最高產量。該機裝有傳輸子系統，旨在以最大的速度和可靠性將晶圓盒精確地傳輸到整個處理室。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300提供了可選的自動蝕刻控制設備（ECS）的選擇,該設備使用專有算法和軟件來精確控制氣流、溫度和其他蝕刻/灰度參數。它還有一個計算機接口，可以對進程參數進行遠程監控和數據記錄。這臺最先進的機器還設計了能夠實現最大生產力的功能。SEZ SP 4300配備了快速循環時間控制系統，可減少蝕刻和灰度處理時間，提高吞吐量。該機還有一個先進的負載鎖單元，為操作員提供快速可靠的晶圓裝卸，最大限度的安全。總體而言,LAM RESEARCH SP 4300是一款功能強大的蝕刻機/灰化機,具有先進的工藝控制和生產率特點,在半導體制造中具有最大的產量和準確性。該模型具有低成本、可靠的操作和出色的工藝控制工具,是任何生產環境下的理想解決方案。