二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300是一款先進的自動化蝕刻器/asher，設計用於半導體和光電器件制造中精確高效的蝕刻和灰化要求。它利用三區擴散動力氧等離子體源提供顯著更高的蝕刻/灰化效率。此外，該設備能夠提供可調節的反應性物質濃度，從而能夠更好地控制蝕刻/灰化操作和最終結果。該系統由Asher/Etcher模塊、網絡控制器以及多種組件組成，如真空室、拉桿、噴塗試劑管理單元、接口卡、電源和真空泵。Asher/Etcher模塊負責通過使用具有擴散和解離能力的氧等離子體源來提供等離子體。為了操作SEZ SP 4300，真空室中充滿了所需的氣體，如asargon、氙或氧。反應性電離氣體隨後進入腔室，在那裏遇到專有的射頻功率放大器，之後引入等離子體。這個等離子體產生一個均勻分布在整個腔室的同質場，允許精確的蝕刻和灰化操作。網絡控制器提供用於控制蝕刻和灰化操作的用戶界面和軟件。LAM RESEARCH SP 4300能夠根據操作要求生產幹蝕刻和濕蝕刻程序以及化學和氣體工藝。此外，它還配備了四級氣體輸送機，可重復和精確地調整所需的工藝濃度。此外，該工具擁有廣泛的可用可調操作參數，可提供極大的靈活性。總之，SP 4300是一種功能強大、符合人體工程學和高效的蝕刻器/灰化器，設計用於半導體和光電制造的精確有效的自動蝕刻和灰化操作。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300具有廣泛的可調整性和靈活性,在蝕刻和灰化方面提供了大量的精度和控制,使其成為任何蝕刻/灰化要求的理想解決方案。