二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9397344 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300是半導體工業中用於處理多種材料的蝕刻器/asher。它專為高吞吐量而設計,在要求最苛刻的應用程序中支持先進的技術流程。SEZ SP 4300具有大型加工室和多工具配置,是一個通用的平臺,可用於一系列蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH SP 4300以其先進的精密等離子體控制系統提供對表面處理的精確控制，其中包括多種射頻射頻/直流配置。利用獨特的多點端口電感耦合等離子體（ICP）源增強了其均勻性和總晶圓覆蓋率。其創新的自動化端點控制和精密的閉環電源控制系統確保了準確的處理結果,即使在使用揮發性材料或其他難以蝕刻的材料進行處理時也是如此。SP 4300具有自動加載/卸載工藝室,可確保一致、高通量,並可處理直徑不超過8英寸的大型晶片。自動加載/卸載蓋閉合系統可防止汙染,並保持晶片上的磁場清潔和均勻。加熱的基板和樣品卡盤，加上先進的工藝控制系統，可以實現可靠的工藝和溫度控制。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300還設計了易於維護的可移動腔室和子組件,以便於清潔和更換。SEZ SP 4300提供了一系列選項,包括用於機器人晶片傳輸的集成機器人晶片處理程序和通過監測大氣條件保護人員和機器的工作室安全系統。LAM RESEARCH SP 4300具有完善的工藝控制系統、大型加工室和各種選項,是最先進的蝕刻和灰化工藝的理想工具。