二手 SEZ SP 201 #293821357 待售

SEZ SP 201是由SEZ Group製造的蝕刻/asher。它是半導體和汽車工業中小尺寸晶片和基板蝕刻和粉刷的理想機器。由於直觀的圖形用戶界面，這臺機器體積小巧，易於使用。SP 201的尺寸為1000 x 600 mm，在20°C至350°C的溫度範圍內運行。其最大工藝面積為17 x 17毫米。該機器的最大蝕刻速度為每秒70毫米，最小蝕刻速度為每秒5毫米。它還能夠處理250 x 250 mm的最大基板尺寸。該機由四臺無刷電動機提供動力，並配備了一個鎖載室、壓力傳感器和集成氣體輸送設備。它還配有內置壓力控制、實時O2和CO2測量，以及來自專用發電機的O2供應。SEZ SP 201配備了基於PC的軟件控制系統和工業通信接口。它還包括一個先進的ROS質量控制和晶圓產量優化單元.機器進行短周期操作和溫度控制的臨界蝕刻。它還具有精確的定位和穩定的過程控制,以及先進的檢查工具.此外,SP 201的高級安全功能使它能夠保護工藝環境。它包括一個有源熱傳感器、一個帶空氣快門功能的空氣凈化器和排氣風扇系統。該機具有開放式平臺，能夠集成自動化視覺機等過程工具。總體而言，SEZ SP 201對於半導體和汽車行業來說是一款可靠且經濟實惠的蝕刻器/asher。它以先進的安全特性提供了對蝕刻工藝的精確控制，以及優化的長期蝕刻性能和工藝可靠性。