二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234384 待售
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ID: 9234384
晶圓大小: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333 kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA} ASH 8100是一種蝕刻器/asher,設計用於在各種基板上提供精確而復雜的蝕刻和灰化。它集成了激光源、光束控制技術和獨特設計的過程管理軟件,以提供高精度的結果。這種蝕刻器/asher可以自動調整,以模擬不同材料的不同蝕刻條件,從軟金屬到硬陶瓷基板。該裝置采用先進的封閉式激光源,提供穩定可控的工藝。它旨在完全控制激光參數,如脈沖持續時間、能級、頻率和光束光斑大小。流程管理軟件允許對流程的每個元素進行控制,從而確保安全性和準確性。它為每個應用程序提供均勻蝕刻的深度和無粒子表面。蝕刻過程可以在平面和輪廓表面進行。獨特的固態激光器設置可在彎曲、復雜和非平坦的表面上實現高質量的光潔度。它可以在廣泛的溫度範圍內運行,允許用戶減少蝕刻時間,同時確保高精度的結果。蝕刻工藝用途廣泛,幾乎可以應用於任何基材。該蝕刻器/asher具有堅固的施工質量,並具有IP54的防塵/防濺結構。其整體激光系統和閉環冷卻通道確保了長而可靠的性能。為防止任何過熱,蝕刻器/asher具有低能量密度設計和溫度檢測系統,如果溫度過高,該系統將關閉機器。Μ ASH 8100提供了卓越的精度,以確保最復雜的圖案和設計能夠輕松準確地形成。這種蝕刻器/asher是為可靠性和易用性而設計的,非常適合使用各種基板的用戶。SHIBAURA的自動化特性和堅固的結構質量,為蝕刻和灰化應用提供了完美的解決方案。
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