二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234515 待售

SHIBAURA走ASH 8100是一種獨立的、熱增強的蝕刻設備，設計用於精確晶圓圖案。該系統在將圖樣蝕刻到易碎和細膩的基板上時,具有卓越的靈活性和性能。它是一個完整的串聯處理蝕刻器,在獨立或並行批處理模式下工作。該單元包括一個安裝在框架上的主工作平臺、一個裝有要蝕刻晶片的蝕刻室和一個單獨的冷卻室。主工作平臺配備獨特的運動識別技術，達到所需的模式精度。該技術允許平臺檢測和跟蹤微觀模式，並保持各種晶圓形狀和尺寸的剛性精度。矩形蝕刻室設計用於蝕刻過程中的均勻冷卻和加熱，並有一個特殊的溫度控制機來有效調節溫度。它允許在整個晶片表面均勻的溫度分布和均勻的蝕刻。蝕刻室還具有靜電銷，用於精確對準晶片，以實現高精度圖樣。Μ ASH 8100具有計算機化的過程控制工具,可準確監控整個蝕刻過程。此資產具有雙通道高靈敏度檢測器,可更精確地檢測模式,以及直觀的圖形用戶界面,便於操作。計算機化的流程控制還為用戶提供了其他選項,例如自動處理、存儲多個流程的能力以及在流程菜單選項之間切換的便利。SHIBAURA的冷卻室了牢固的密封，保證了足夠的密封性以進行冷卻和通風。整個冷卻模型由安裝在冷卻室後部的風冷鼓風機提供動力。該鼓風機能夠在蝕刻過程之前快速冷卻或加熱晶片。Μ ASH 8100是一種多合一、用戶友好的蝕刻設備,專為全面的基板圖案設計。其溫度控制、運動識別和計算機化過程控制系統在蝕刻細膩易碎基板時提供了高精度和可靠性。其冷卻室可保護晶片免受熱損壞,並確保整個晶片表面均勻蝕刻。因此,它非常適合需要高精度和高精度的應用。