二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234516 待售
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ID: 9234516
晶圓大小: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA走ASH 8100是一種蝕刻和灰化設備，使用紅外輻射和輻射激發技術提供各種材料的同時蝕刻和灰化。該系統具有紅外至200納米的易感性排放，可用於蝕刻和粉刷各種無機和有機材料。該裝置通常需要不到5分鐘的對準時間，以確定用於蝕刻和灰化的輻射的精確聚焦，從而提供非常有效的過程。Μ ASH 8100的蝕刻速度非常快,可以在5x5 cm的較大區域內達到35000 nm/min,從而可以更快、更精確地進行蝕刻和灰化。此外，該機器能夠向目標區域施加額外氣體，從而能夠對所處理的材料進行更精確和精確的蝕刻控制。SHIBAURA走ASH 8100的控制通過連接到控制櫃的PC提供。這允許用戶設置所需的工作參數,例如蝕刻和灰化時間、溫度和腔室壓力。該工具還具有遠程訪問功能,允許技術人員遠程監視資產性能,從而實現了較高的診斷能力。Μ ASH 8100采用稱為環繞聲信號設備的安全模型構建,可確保用戶免受輻射和其他有害氣體的傷害。此外，系統還包括一個確保工作室純度的多級預濾器單元，以及一個提供當前工作參數清晰視圖的LED顯示屏。機器包括一個手冊，提供關於其設置、操作和維護的全面說明，簡單明了。此外，手冊還提供了詳細的圖表、零件的圖表以及維修信息。SHIBAURA走ASH 8100是希望快速蝕刻或灰燼材料以用於研發和生產目的的用戶的理想工具。它的快速蝕刻速率、遠程監控和控制功能使用戶能夠以高效有效的方式快速修改許多應用程序的材料。
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