二手 SHIBAURA CDE 7-3A #9226076 待售

SHIBAURA CDE 7-3A是一種用於反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體灰化應用的蝕刻器/灰化器。該單元配備了直徑12英寸的渦輪泵，提供100 nm/min的最大蝕刻/ashing速率。它還配備了低噪聲射頻電源，在13.56MHz頻率下提供1-600 W的功率。此外，CDE 7-3A具有一個真空室，其內部空間為11英寸-L x 7.5英寸-W x 7.5英寸-H，並且該單元能夠在10-4帕的真空環境下運行，該單元包括氣體劑量和供應系統，從而能夠準確控制反應條件。低噪聲射頻電源、氣體劑量和供應系統、渦輪泵的結合，可實現精密蝕刻和灰化。SHIBAURA CDE 7-3A還具有可變壓力傳感器、顆粒狀屏蔽層和加熱元件範圍，可分別用於選擇最佳壓力，抑制二次反應，實現高溫。此外，該單元擁有存儲配方和工藝條件的內存。蝕刻器/asher還得益於直觀的液晶觸摸屏，用於控制配方內存之外的處理參數。總體而言,CDE 7-3A為蝕刻和灰化材料提供了可靠的平臺,最大蝕刻/灰化速率為100 nm/min,最大操作壓力為10-4 Pa。