二手 SHIBAURA CDE-73 #9137189 待售

SHIBAURA CDE-73 蝕刻器/asher是一種高性能、綜合性、自動化的濕蝕刻設備,設計用於半導體、MEMS和生物醫學行業。該蝕刻系統具有很高的均勻性、精確度和可靠性。該單元由不銹鋼構成，可用於任何蝕刻工藝，包括SiO2、多晶矽、金屬、氮化物和SiO2/Poly堆棧。設有換熱器、氣體處理機、加工站.高性能換熱器提供快速的熱響應和更高的溫度控制精度，允許精確蝕刻。氣體處理工具包括氦氣安全閥、金屬自動抽頭、熄火閥和排氣閥。該加工站設有九個加工船港口，最多可同時使用八個加工船。憑借其3-4升容量的工藝罐，CDE-73提供了廣泛的工藝參數，如壓力、溫度、氣體流量和蝕刻速率。該資產還通過創新的冷氣滅火模式提供了更大的過程控制和穩定性，這有助於減少氣泡。SHIBAURA CDE-73具有良好的安全功能,包括可調節的蓋子、控制面板保護裝置和減音裝置。它還配備了綜合排氣設備和氣流探測器，有助於監測清潔過程，並在壓力或氣流水平異常時提醒操作員。所有這些功能齊心協力打造尖端蝕刻系統，為用戶提供精確的蝕刻能力、提高的安全性和高均勻性。這種用戶友好的蝕刻裝置可以幫助用戶快速、輕松地生產出優質晶片,並減少停機時間。CDE-73的可靠性、準確性和精確度使其成為蝕刻需求的絕佳選擇。