二手 SHIBAURA CDE 80 #293609517 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 293609517
優質的: 1995
Etcher
SMIF Loader
Controller
CRT
Keyboard
SUS Front panel
Ni coated Al Side panel
Pump interface
Quartz tube protection
ESC Universal chuck
Water auxiliaries, 8"
Gas system:
(5) TYLAN FC-2900 Mass Flow Controllers (MFC)
Gases: CF4, C12, N2, 02, NF3
Does not include dry pump
1995 vintage.
SHIBAURA CDE 80是專門為處理各種應用中的樣品而設計的蝕刻器/灰化器,包括光刻、電沈積、蝕刻、灰化和其他技術。該工具擁有最大的蝕刻室之一,與更傳統的蝕刻解決方案相比,提供了優越的樣品處理和更多的能力。SHIBAURA CDE-80具有上下雙室外殼。頂部腔室設計用於基板裝卸,底部腔室用於灰化和蝕刻。基材的尺寸可以從小塊到更大、質量更高的樣品不等。腔室的墻壁由耐用的不銹鋼制成,能夠抵抗各種腐蝕性和磨蝕性損傷,確保了最高質量的效果。CDE 80利用高頻磁控管射頻電源,能夠最大限度地提高蝕刻工藝的精度和精度。該設備還有一個專有的熱管理系統,以確保所有的蝕刻和灰化參數,如溫度和壓力,成功地保持最佳蝕刻結果。它還具有若幹可利用的功能和可移植性。例如,它能夠從計算機單元控制蝕刻過程,從而允許最佳控制精度。此外,它還具有可選的溫度和壓力讀數,以及多種安全功能,如密封密封和超過電流限制器。CDE-80還有一個真空泵和維護自由的設計,允許最大程度的可靠性。最重要的是,它附帶的軟件可幫助用戶設計和監控其蝕刻和灰化參數,確保其過程保持優化。總體而言,SHIBAURA CDE 80是一款用途廣泛的蝕刻器/Asher,可在各種應用中提供可靠、準確和精確的結果。由於這臺機器可以處理各種不同的樣本量,因此特別適合研究人員或尋求靈活蝕刻解決方案的制造專業人員。
還沒有評論