二手 SHIBAURA CDE 80 #293763559 待售

SHIBAURA CDE 80是一種先進的蝕刻/asher設備，非常適合光刻和微電子工業的應用。它旨在提供高度的準確性、精確度和可靠性,同時仍保持成本效益。SHIBAURA CDE-80 蝕刻器/asher使用基於電感耦合等離子體（ICP）的系統來創建高速、低成本、高精度蝕刻和灰化的電離場。ICP單元利用高頻發生器和定向ICP源在低壓和低溫下生成等離子體光束，同時使用單個電感。ICP機器使高速和精確處理更大的區域成為可能。CDE 80旨在提供高達每小時二十個晶圓的生產率，最小模具尺寸為2.5微米。這臺機器能夠持續蝕刻直徑達四百毫米的基板，並且可以容納各種基板。蝕刻是在屏蔽環境中進行的，屏蔽環境結合了既衛生又隔音的外墻，而內部部件則保持在受控的溫度、濕度和大氣環境中。CDE-80能夠在蝕刻過程中防止大氣氧化和汙染。它使用一個物體容器，以確保蝕刻表面被適當覆蓋，並且能夠在各種溫度下操作，這意味著它可以處理各種材料。此外，該工具可以配置為滿足特定需求，從半導體到硬顆粒應用，其微調蝕刻工藝確保了出色的分辨率和低顆粒汙染。此資產非常可靠,維護成本低。SHIBAURA CDE 80設計了多種安全系統，包括壓力鎖門、自動蓋子開閉制導模型以及霧氣除塵設備。這些功能和更多功能使SHIBAURA CDE-80需要低成本、高精度和可靠操作的蝕刻應用的絕佳選擇。