二手 SHIBAURA CDE 80 #9085091 待售

SHIBAURA CDE 80是一種高性能的蝕刻器/asher，用於各種基板去除應用。這種裝置能夠高精度地去除天然或氧化物層，沈積薄膜，並對基板進行圖案化。該機配備了EDP 3蝕刻控制器、RIE蝕刻室、石英管射頻發生器、支撐板、窗板等合格部件。復雜的控制器單元支持復雜的蝕刻操作,用於蝕刻隔離特征和群集特征。EPD三控RIE腔室的設計是為了生產高密度的等離子體，具有極好的均勻性，以便對中區基板進行一致的加工。此外，射頻發生器能夠產生高達1,400 °C的溫度，從而能夠進行氧化物和氮化物蝕刻。提供了一個獨立的窗板，用於石英管，允許觀察操作過程中的蝕刻過程。SHIBAURA CDE-80可以使用多種選項或消耗品進行定制,例如各種氣體供應和若幹來源。可以指定內部和外部冷卻器,以便在蝕刻操作期間冷卻系統或基板。此外，可以提供外部ECR輸入，以進一步加強蝕刻操作。CDE 80可以進行一系列令人印象深刻的先進基板蝕刻程序，使其成為原型、元件生產和研究的絕佳選擇。設備可靠、精確、有效，為用戶提供了對整個過程的高度控制和準確性。這種先進的蝕刻系統非常適合生產需要嚴格控制蝕刻特性的基板，也非常適合尋求高產量的用戶。